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クリーンテクノロジー

OUR TECHNOLOGY

クリーンルーム

高清浄な空間を高い精度・品質で維持されるクリーンルームは、膨大なエネルギーを必要とし、エネルギー消費量の削減が重要な課題となります。
可変風量FFUシステムは、レーザーパーティクルセンサで室内濃度を直接検出するだけでなく、発塵負荷の変動を各種センサ群で多面的に検出し送風量を制御するというもので、エネルギー消費抑制に大きな効果を発揮します。
冬期にも冷房要求のあるクリーンルームでは、圧縮空気と純水の二流体ノズルを用いた加湿制御を行うことで、外調機等の加湿負荷を低減できると同時に、気化冷却効果により室内の顕熱処理が行えるので、冷凍機の負荷削減が図れます。

FFU方式クリーンルームは、施工性の良さ、個別分散によるメンテナンス性、DCモーター採用による変風量システムを容易に実現できるなど数々のメリットがあり、現在の主流技術となっています。
さらに、エネルギー削減傾向や、微細加工技術の進歩による制御対象の変化により、ミニエンバイロメント方式などの局所浄化が一般的になっています。
半導体工場においては、製品を密閉容器(FOUP)に格納することにより、高清浄空間を大幅に削減できる技術が確立されており、また、ケミカル汚染防止のための各種技術も進化を遂げています。